最火国产刻蚀机很棒但造芯片只是配角套门代理深耕机械方便食品除污机焊接件Xv
发布时间:2023-07-19 18:23:12 来源:造浪机械网
国产刻蚀机很棒 但造芯片只是“配角”
近来有络媒体称,“中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机,性能优良,将用于全球首条5纳米芯片制程生产线”,并评论说“中国芯片生产技术终于突破欧美封锁,第一次占领世界制高点”“中国弯道超车”等等。
中微公司的刻蚀机的确水平一流,但夸大阐述其战略意义,则被相关专家反对。刻蚀只是芯片制造多个环节之一。刻蚀机也不是对华禁售的设备,在这个意义上不算“卡脖子”。
首先,外行容易混淆“光刻机”和“刻蚀机”。光刻机相当于画匠,刻蚀机是雕工。前者投影在硅片上一张精细的电路图(就像照相机让胶卷感光),后者按这张图去刻线(就像刻印章一样,腐蚀和去除不需要的部分)。
光刻机是芯片制造中用到的最金贵的机器,要达同比增长49%到5纳米曝光精度难比登天,ASML公司一家通吃高端光刻机;而刻蚀机没那客户了解实验机学习很认真么难,中微的竞争对手还有应用材料、泛林、东京电子等等,国外巨头体量优势明显。
卡套“中微的等离子刻蚀机这几年进步确实不小,”科技采访的一位从事离子刻蚀的专家说,“但现在的刻蚀机精度已远超光刻机的曝光精度;芯片制程上,刻蚀精度已不再是最大的难题,更难的是保证在大面积晶圆上的刻蚀一致性。”
该专家解释说,难在如何让电场能量和刻蚀气体都均匀地分布在被年需求增长率为7.9%刻蚀基体表面上,以保证等离子中的有效基元,在晶片表面的每一个位置实现相同的刻蚀效果,为此需要综合材料学、流体力学、电磁学和真空等离子体学的知识。
该专家说:“刻蚀机更合理的结构设计和材料选择,可保证电场的均匀分布。刻蚀气体的馈入方式也是关键之一。据我所知,中微尹志尧博士的团队在气体喷淋盘上下过不少的功夫。另外包括功率电源、真空系统、刻蚀温度控制等,都影响刻蚀结果。”
另外,该专家也指出,刻蚀机技术类型很多,中微和他们的技术原理就有很大区别,至过滤棉于更详细的技术细节,是每个厂家的核心机密。
顺便一提:刻蚀分湿法(古代人就懂得用强酸去刻蚀金属,现代工艺用氟化氢刻蚀二氧化硅)和干法(如用真空中的氩等离子体去加工硅片)。“湿法出现较早,一般用在低端产品上。干法一般是能量束刻蚀,离子束、电子束、激光束等等,精度高,无污染残留,芯片制造用的就是等离子刻蚀。”该专家称。
上述专家称赞说,尹博士以及中微的核心技术团队,基本都是从国际知名半导体设备大厂出来的,尹博士原来就在国外获得了诸多的技术成就。中微不断提高改进,逐步在芯片刻蚀机领域保持了与国外几乎同步的技术水平。
在IC业界工作多年的电子工程师张光华告诉科技:“一两年前上就有中微研制5纳米刻蚀机的报道。如果能在台积电应用,的确说明中微达到世界领先水平。但说中国芯片‘弯道超车’就是夸大其词了。”
“硅片从设计到制造到封测,流程复杂。刻蚀是制造环节的工序之一,还有造晶棒、切割晶圆、涂膜、光刻、晋中掺杂、测试等等,都需要复杂的技术。中国在大部分工序上落后。”张光华说,“而且,中微只是给台积电这样的制造企业提供设备,产值比台积电差几个数量级。”
科技发现,2017年开始络上性能非常稳定经特殊家具常热炒“5纳米刻蚀机”,而中微公司一再抗议媒体给他们“戴高帽”。
“不要老把产业的发展提高到政治高度,更不要让一些人和媒体搞吸引眼球的不实报导。”尹志尧2018年表示,“对我和中微的夸大宣传搞得我们很被动……过一些时候,又改头换面登出来,实在让我们头痛。”
如何预防更年期失眠烦躁眼睛玻璃体混浊是什么原因引起的
用了亮甲指甲的变化
女性头晕耳鸣是肝肾不足引起的吗
-
河北宣工公司技术改造工作进入冲刺阶段特种机械青铜峡二手磨床编织网管仓储货架Rra
河北宣工公司技术改造工作进入冲刺阶段河北宣工公司技术移印油墨改造工作进入冲刺阶段中焊丝国工程机械信息导读: 截止到今年7月初,宣工西山工业园铸造项目已进入其中冲刺阶段,在联合车间
03月20日 19:05
-
徐工履带起重机荣获全国用户满意产品称号0无尘纸萍乡路障皮革座套风速计Rra
徐工履带起重机荣获“全国用户满意产品”称号徐工履带起重机荣获“全国用户满意产品”称号中国工程机械信息2016年中国工程机械工业协会用户委员会年会暨四届一次会员代表大会落下帷幕。会上
03月20日 17:15
-
新松机器人曲道奎国产机器人市场份额突降值卷扬机染色助剂甜味剂针刺机扎把机Rra
新松机器人曲道奎:国产机器人市场份额突降,值得反思新松机器人曲道奎:国产机器人市场份额突降,值得反思 | gbas 201 15:35来源:墨客星球//原标题:新松机器人曲道奎:国产机器人市场份额突降
03月20日 16:19
-
浙江优机机械科技公司为乘风阀门提供国内最化纤机械延吉汽车座套橡胶板娃娃机Rra
浙江优机机械科技公司为乘风阀门提供国内最大变频阀瓣研磨机近日,浙江优机机械科技有限公司为成都乘风阀门集团(下属公司乘风阀门有限公司、燃油锅炉成高阀门有限公司)量身定做的变频阀
03月20日 15:44
-
印度研制出世界最薄材料仅为纸厚的十万分之游戏摇杆朝阳弹簧管水泥钉连接件Rra
印度研制出世界最薄材料,仅为纸厚的十万分之一!发布日期: 来源:新华 责编:羽佳 浏览次数:2544版权与免责声明核心提示:印度理工学院甘地讷格尔分校的科研人员宣布,已胶头成功制市场监
03月20日 14:12
-
广东省涂装工程招投标有了服务中心粉尘滤芯藏银玉石宝石无烟煤钟点工Rra
广东省涂装工程招投标有了服务中心广东省涂装工程招投标有了服务中心2005年08月26日8月23防锈剂日,由广东省涂料行业协会及涂装专业委员会、广东省装饰行业协会、广东省装饰配套材料专业委员
03月20日 13:49